-22无振动行星减速器
所有的半导体材料都需要对原料进行提纯，要求的纯度在6个9以上，达11个9以上。提纯的方法分两大类，一类是不改变材料的化学组成进行提纯，称为物理提纯；另一类是把元素先变成化合物进行提纯，再将提纯后的化合物还原成元素，称为化学提纯。物理提纯的方法有真空蒸发、区域精制、拉晶提纯等，使用 多的是区域精制。化学提纯的主要方法有电解、络合、萃取、精馏等，使用 多的是精馏。由于每一种方法都有一定的局限性，因此常使用几种提纯方法相结合的工艺流程以获得合格的材料。
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减速特性
1、高扭力、耐冲击：行星齿轮之机构形同于传统平行齿轮的传动方式。传统齿轮仅依靠两个齿轮间极少数点接触面挤压驱动，所有负荷集中于相接触之少数齿轮面，容易产生齿轮间摩擦与断裂。而行星齿轮减速机具有六个更大面积与齿轮接触面360度均匀负荷，多个齿轮面共同均匀承受瞬间冲击负荷，使其更能承受较高扭矩力之冲击，本体及各轴承零件也不会因高负荷而损坏破裂。
2、体积小、重力轻：传统齿轮减速机的设计皆有多组大小齿轮偏向交错传动减速，由于减速比须由两个齿轮数之倍数值产生，大小齿轮间更要有一定之间距咬合，因此齿箱容纳空间极大，尤其高速比的组合时更需要由两台以上减速齿箱连接组合，结构强度相对减弱，更使齿箱长度加长，造成体积与重量极为庞大。行星减速机的结构可依需求段数重复连接，单独完成多段组合，体积小，重量轻、外观轻巧，相形使设计更有价值感。
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常见减速机的种类：
蜗轮蜗杆减速机的主要特点是具有反向自锁功能，可以有较大的减速比，输出轴和输入轴不在同一轴线上，也不在同一平面上。但是一般体积较大，精度不高，传动效率不高。
当蜗轮蜗杆减速机同心度的误差越大时，驱动电机输出轴折断的时间越短。在驱动电机输出轴折断的时候，蜗杆减速机输入端同样也会承受来自于电机方面的径向力，如果这个径向力同时超出了二者所能承受的径向负荷的话，其结果也会导致蜗轮蜗杆减速机输入端产生变形甚至断裂。因此，在装配时同心度的保证至关重要。
在使用齿轮减速机设备的时候，总会遇到一些突发事故。突发性故障是指那些发展速度快，带有突变性质的故障。所以很多的维修人员都要会这种现象。
行星减速机的结构原理
一、组成零件
本体、出力轴、出力轴油封、出力轴承、太阳螺帽、行星架、内齿环、行星齿轮、阶段齿轮、滚针轴、太阳齿轮、C型扣环、入力轴承、入力轴油封、入力法兰、O型环、透气塞、键、垫圈、内六角螺丝等。
二、传动原理
行星减速机之传动结构为目前齿轮减速机效率之组合，其基本传动结构为四个部分：
1、太阳齿轮 2、行星齿轮（组合于行星架） 3、内齿轮环 4、阶段齿轮
驱动源以直接连接的方式启动太阳齿轮，太阳齿轮将组合于行星齿轮架上的行星齿轮带动运转。整组行星齿轮系统沿着外齿轮环自动运行转动，行星架连接出力轴输出达到加速目的。更高减速比则需要由多组阶段齿轮与行星齿轮倍增累计而成。
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